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中央超纯水供应系统一般可分为三个部分

发布时间:2022-09-06   点击次数:146次
   中央超纯水供应系统采用集中制备,分质供水。所谓中央集中制水、分质供水,就是用一套水处理系统对自来水进行深度处理,使其达到各科室可直接使用的水质标准,再分别用管网供给各科室使用。工艺流程采用为双套设计;任一套故障或检修时,另一套能确保正常制水;控制系统为自动和手动各一套,正常运作时为全自动控制,可无人值守运走,自动控制故障时,手动控制可保证设备运作,确保正常供水。
  
  系统特点说明:
  1、显示控制器、动画式流程图,实时显示并监控各水处理单元工艺运行状态;
  2、运行状态及参数在线显示:流量在线显示、压力在线显示、源水水质和产水水质在线监测及数字显示等,实时了解设备运行情况,方便对系统运行状态进行监控和分析;
  3、所有水箱液位全自动控制:中间水箱、纯水箱、水箱之间的设备连接不仅实现联动,同时保护每台泵不至空转而损坏;
  4、产品水质在线监测与不合格水循环处理:为保证用水点水质符合要求,主机产水水质实时在线监测,并设有水质反馈装置,不合格水质循环再处理;
  5、具备自动冲洗管网功能,定期对管路进行清洗,以保持管道内部洁净,管路冲洗时,可直接排放,也可回流到制水设备主机重新利用,以节约水源;
  
  中央超纯水供应系统总体来说一般可分为三个部分:
  超纯水制造区(CUB部分);
  超纯水抛光循环区(FAB部分);
  超纯水输送管网(FAB各使用区)。
  其中超纯水制造区最为复杂其又可分为:预处理、一次纯水处理、超纯水处理三个部分。
  预处理部分主要包括:沙滤、活性炭塔(有的厂商在沙滤前还增设反应槽、气浮池);
  一次纯水部分主要包括:阴阳离子交换塔、脱气塔(DG)、保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透;
  超纯水部分主要包括:MDG(脱氧膜组)、TOC-UV杀菌器、混床(MB)及终端过滤器。
  但是由于考虑到在向工艺线设备输送高纯水过程中,输水管道会对水质再次造成污染,因而在FAB内一般都设立抛光循环系统。抛光循环系统主要以MB为核心,再加上超滤设备(UF),以除去在向工艺生产线输送纯水的过程中,管网溶入水中的杂质。

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